| 摘要 |
Vorrichtung für den Transport von Substraten (23, 23', ...) in und durch Vakuum-Behandlungsanlagen mit mehreren Stationen sowie einer Heizeinrichtung, mit Substrathaltern etwa plattenförmiger, flacher, parallelepipeder Konfiguration, die in lotrechter Stellung entlang eines vorgegebenen Transportweges durch die Stationen bewegbar sind. Dabei ist ein massives Fußteil (6) mit Einrichtungen zum Halten und Führen in einer Vakuumkammer vorgesehen und auf diesem Fußteil (6) ist ein Kopfteil (7) angeordnet, das als filigraner, ebener Rahmen ausgebildet ist, an dem die zu behandelnden Substrate (23, 23', ...) mittels eines Substrathalters (14, 15) aufgehängt sind, und diese Halterung des Substrathalters (14, 15) an dem Rahmen beweglich ausgeführt ist und eine Relativbewegung, zwischen Substrathalter (14, 15) und Rahmen beispielsweise eine Längenänderung infolge Erwärmung ermöglicht. <IMAGE>
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