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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SPATIALLY UNIFORM ELECTROPOLISHING AND ELECTROLYTIC ETCHING
摘要
申请公布号 EP0505548(A4) 申请公布日期 1993.06.09
申请号 EP19910919115 申请日期 1991.10.11
申请人 UNITED STATES DEPARTMENT OF ENERGY 发明人 MAYER, STEVEN, T.;CONTOLINI, ROBERT, J.;BERNHARDT, ANTHONY, F.
分类号 C25F3/02;C25F3/16;C25F7/00;(IPC1-7):C25F3/02 主分类号 C25F3/02
代理机构 代理人
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