发明名称 PROCESS FOR PREPARATION OF A SEED LAYER FOR SELECTIVE METAL DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP0536376(A4) 申请公布日期 1993.06.09
申请号 EP19920910114 申请日期 1992.03.31
申请人 UNITED STATES DEPARTMENT OF ENERGY 发明人 BERNHARDT, ANTHONY, FREDERICK
分类号 B23K26/00;C23C18/16;C23C18/20;C23C18/24;C25D5/02;C25D5/34;C25D7/00;H01L21/60;H05K3/18;(IPC1-7):C25D5/02 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人
主权项
地址