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发明名称 ELLIPSOMETER AND METHOD OF CONTROLLING COATING THICKNESS BY USE OF ELLIPSOMETER
摘要
申请公布号 EP0527230(A4) 申请公布日期 1993.06.09
申请号 EP19920903726 申请日期 1992.01.27
申请人 NKK CORPORATION 发明人 KAZAMA, AKIRA;OSHIGE, TAKAHIKO;YAMADA, YOSHIRO;YAMADA, TAKEO;YAMAZAKI, TSUYOSHI;TAKAYAMA, TAKAMITSU;NOMURA, SHUICHIRO
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06;G01J4/04;G01N21/21;G02B5/30 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
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