| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR THE PREPARATION AND OBSERVATION OF A TOPOGRAPHIC SECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2225156(B) |
申请公布日期 |
1993.06.09 |
| 申请号 |
GB19890024092 |
申请日期 |
1989.10.26 |
| 申请人 |
* SEIKO INSTRUMENTS INC |
发明人 |
TATSUYA * ADACHI;TAKASHI * KAITO |
| 分类号 |
G01N23/22;G01N1/32;G01Q30/02;G01Q30/04;G01Q30/18;H01J37/28;H01J37/305;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N23/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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