发明名称 OPTICAL INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05142159(A) 申请公布日期 1993.06.08
申请号 JP19910283900 申请日期 1991.10.04
申请人 ERWIN SICK GMBH OPT ELEKTRON 发明人 KURAUSU BUEEBAA;BUORUFUGANKU JIERUSHIYU
分类号 G01B11/30;G01N21/84;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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