发明名称 |
OPTICAL INSPECTING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05142159(A) |
申请公布日期 |
1993.06.08 |
申请号 |
JP19910283900 |
申请日期 |
1991.10.04 |
申请人 |
ERWIN SICK GMBH OPT ELEKTRON |
发明人 |
KURAUSU BUEEBAA;BUORUFUGANKU JIERUSHIYU |
分类号 |
G01B11/30;G01N21/84;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892 |
主分类号 |
G01B11/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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