发明名称 SEMICONDUCTOR TESTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05142301(A) 申请公布日期 1993.06.08
申请号 JP19910310404 申请日期 1991.11.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 HAYASHI YOSHIHIKO;NAKAJO TOKUO;OSAKI AKIO
分类号 G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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