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发明名称 VACUUM TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05140743(A) 申请公布日期 1993.06.08
申请号 JP19910306225 申请日期 1991.11.21
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 SAEKI HIROAKI
分类号 B01J3/00;B01J3/02;C23C14/00;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/50;C23F4/00;C30B25/02;H01L21/027;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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