发明名称 复合氧化物超导薄膜
摘要 一种用物理蒸镀法在MgO、SrTiO3或ZrO2单晶基片上形成以Ln1Bn2Cn3O7-x(Ln是镧系元素)、(La1-Xxa)2CuO4(a是Ba或Sr)所表示的复合氧化物超导体薄膜。本发明的特征在于:在使上述复合氧化物超导体薄膜表面的光洁度Rmax(基准长度=1000μm)为0.2μm以下的平滑面的条件下,进行物理蒸镀。
申请公布号 CN1021175C 申请公布日期 1993.06.09
申请号 CN88109261.4 申请日期 1988.12.19
申请人 住友电气工业株式会社 发明人 田中三郎;糸崎秀夫;桧垣贤次郎;矢津修示;上代哲司
分类号 H01L39/12;H01L39/24;H01B12/06 主分类号 H01L39/12
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利代理部 代理人 冯赓瑄
主权项 1.一种超导复合物,包括一个基片和一层超导薄膜,该超导薄膜淀积在上述基片上且主要包括一种复合氧化物,该复合氧化物的临界温度约大于28°K;其中,上述超导薄膜一个表面的实质部分的表面粗糙度Rmax(基准长度1000μm)在0.2μm以下,且上述超导薄膜的临界电流密度大于1×105A/cm2。
地址 日本兵库县