发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH05139877(A) 申请公布日期 1993.06.08
申请号 JP19910329774 申请日期 1991.11.19
申请人 NIKKO KYODO CO LTD 发明人 ASAHI TOSHIAKI
分类号 C30B11/00;C30B29/46;H01L21/208 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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