传送室设计及使用传送室方法

摘要

本发明提供经揭示用于晶圆处理之设备及方法。特定实施例包括将晶圆自储存盒转移至处理模组并返回之双晶圆处置系统及其各态样。本发明提供堆叠式独立传送室，其允许排气及抽气操作并行工作，且可经最佳化以减少微粒。本发明亦提供环形设计，以在传送室排气及抽气期间产生径向上下流动。