监控制程的系统及方法

摘要

本发明提供一种监控制程的系统，包括：一二维正交图，其具有一晶圆之晶圆量测值有关之一第一轴，与一既定制程之制程总值有关之一第二轴，且该二维正交图中具有一封闭环状之控管限度；以及一标示体，其显示该制程总值及该晶圆量测值于该二维正交图中。