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发明名称 INTEGRIERTES, ELEKTRISCH ANSTEUERBARES, FLUIDISCHES MIKROMINIATURVENTIL UND DRUCK-/DURCHFLUSSREGULATOR SOWIE VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG.
摘要
申请公布号 DE3783190(T2) 申请公布日期 1993.06.03
申请号 DE19873783190T 申请日期 1987.09.24
申请人 THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY, STANFORD, CALIF., US 发明人 ZDEBLICK, MARK, MOUNTAIN VIEW CALIFORNIA 94040, US
分类号 B23K26/00;C23F1/00;F15C3/04;F15C5/00;F16K31/00;F16K31/02;F16K31/12;F16K99/00;G02B3/00;G02B3/14;G02B6/36;G05D7/01;G05D16/20;H01L21/302;H01L21/306;H01L29/84;H01L49/00;(IPC1-7):F15C3/04;F15C1/04 主分类号 B23K26/00
代理机构 代理人
主权项
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