发明名称 |
SOLID STATE ELECTROMAGNETIC RADIATION DETECTOR. |
摘要 |
La présente invention prévoit un détecteur de rayonnement à semi-conducteurs (10), de grande étendue et à densité de pixels élevée, et à lecture non-destructive en temps réel. Le détecteur à semi-conducteurs (10) comprend une multiplicité de transistors à effet de champ (11) déposés sur un substrat (12) de manière à former un alignement. Une couche de planage (19) est déposée au-dessus de l'alignement de transistors (11). Une couche sensible à l'énergie (20) est déposée au-dessus de la couche de planage (19). Des éléments (21) sont prévus pour connecter électriquement la couche sensible à l'énergie (20) avec chacun des transistors (11) de l'alignement. Une couche d'électrode supérieure (23) est déposée sur la couche sensible à l'énergie (20). Le détecteur à semi-conducteurs (10) comprend aussi des éléments de circuit (17, 18) servant à produire une lecture électronique à partir de chaque transistor à effet de champ (11) de l'alignement. |
申请公布号 |
EP0543951(A1) |
申请公布日期 |
1993.06.02 |
申请号 |
EP19910918892 |
申请日期 |
1991.06.14 |
申请人 |
MINNESOTA MINING AND MANUFACTURING COMPANY |
发明人 |
TRAN, NANG, TRI;LOEDING, NEIL, W.;NINS, DAVID, V. |
分类号 |
G01J1/02;G01T1/24;H01L27/14;H01L27/146;H01L31/09;H01L31/10 |
主分类号 |
G01J1/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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