发明名称 NOTCH ALIGNING MECHANISM OF NOTCHED WAFERS
摘要
申请公布号 KR930004631(B1) 申请公布日期 1993.06.02
申请号 KR19890019892 申请日期 1989.12.28
申请人 FUJITSU LTD. 发明人 SHIMANE, KATSUO
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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