| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING BORON-DOPED SEMI CONDUCTING DIAMOND FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9307879(D0) |
申请公布日期 |
1993.06.02 |
| 申请号 |
GB19930007879 |
申请日期 |
1993.04.16 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (ALSO KNOWN AS KOBE STEEL LTD) |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/20;C23C16/27;H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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