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发明名称 PROCESS FOR THE PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES BY USING SILICON-ON-ISOLATION TECHNIQUES
摘要
申请公布号 EP0159252(B1) 申请公布日期 1993.06.02
申请号 EP19850400604 申请日期 1985.03.28
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 YAMAWAKI, HIDEKI;ARIMOTO, YOSHIHIRO;KODAMA, SHIGEO;KIMURA, TAKAFUMI;IHARA, MASARU
分类号 H01L27/12;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/324;H01L21/86 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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