| 发明名称 |
GASEOUS RADICAL PRODUCING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2261986(A) |
申请公布日期 |
1993.06.02 |
| 申请号 |
GB19920021198 |
申请日期 |
1992.10.08 |
| 申请人 |
THE * SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE |
发明人 |
NIGEL GORDON * CHEW;RICHARD GEORGE * HUMPHREYS;JULIAN SIMON * SATCHELL |
| 分类号 |
H01J27/02;C23C14/35;C23C16/452;H01J27/18;H01J37/08;H01J37/32;H01L39/24;H05H1/46 |
主分类号 |
H01J27/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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