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发明名称
FAST ATOM BEAM SOURCE
摘要
申请公布号
US5216241(A)
申请公布日期
1993.06.01
申请号
US19920845202
申请日期
1992.03.03
申请人
EBARA CORPORATION
发明人
HATAKEYAMA, MASAHIRO;NAGAI, KAZUTOSHI
分类号
H01J37/02;H05H3/02
主分类号
H01J37/02
代理机构
代理人
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