| 发明名称 |
FORMING METHOD OF METAL WIRING PATTERN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05136127(A) |
申请公布日期 |
1993.06.01 |
| 申请号 |
JP19910300519 |
申请日期 |
1991.11.15 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
GOTO TAKASHI;IHARA YOSHIKAZU;INOUE YASUNORI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/3065;H01L21/3205 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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