发明名称 WASHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05138141(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910277458 申请日期 1991.10.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 HONMA YOSHIFUMI;MORIYAMA TERUO;ISOO OSAMU
分类号 B08B1/02;B08B11/04;H01L21/304 主分类号 B08B1/02
代理机构 代理人
主权项
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