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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SUPPORT
摘要
申请公布号
JPH05136069(A)
申请公布日期
1993.06.01
申请号
JP19910326455
申请日期
1991.11.14
申请人
NEC CORP
发明人
KAYASHIMA KAZUHIRO
分类号
H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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