发明名称 ELEMENT ISOLATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH05136123(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910300539 申请日期 1991.11.15
申请人 SHARP CORP 发明人 YAMAUCHI YOSHIMITSU
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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