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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05136402(A)
申请公布日期
1993.06.01
申请号
JP19910300221
申请日期
1991.11.15
申请人
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP
发明人
ISHIDA HIROSHI;SHIMIZU AKIHIRO;HASEGAWA NORIO;MORIMOTO TADAO;YAMANAKA TOSHIAKI;HASHIMOTO NAOTAKA;HASHIMOTO KOJI;OOKI NAGATOSHI
分类号
H01L21/265;H01L21/266;H01L21/28;H01L29/78
主分类号
H01L21/265
代理机构
代理人
主权项
地址
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