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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05136270(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910298836 申请日期 1991.11.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UJI SHIGETAKA
分类号 H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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