发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05136130(A) |
申请公布日期 |
1993.06.01 |
申请号 |
JP19910295345 |
申请日期 |
1991.11.12 |
申请人 |
FUJITSU LTD;KYUSHU FUJITSU ELECTRON:KK |
发明人 |
KAWAMURA NOBUKI;OE ICHIRO |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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