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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05136051(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910323926 申请日期 1991.11.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKAHASHI SHOGO
分类号 H01L21/20;H01S5/00 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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