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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05136198(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910294579 申请日期 1991.11.11
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 NAKANO KENJI
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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