| 发明名称 |
COMPOUND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05136347(A) |
申请公布日期 |
1993.06.01 |
| 申请号 |
JP19910295777 |
申请日期 |
1991.11.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
SHIGETA JUNJI;TAKAZAWA HIROYUKI;FUCHIGAMI NOBUTAKA;MIYAZAKI MASARU |
| 分类号 |
H01L27/06;H01L21/338;H01L21/8232;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L27/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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