发明名称 LASER MARKING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05136282(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910325204 申请日期 1991.11.13
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 SUZUKI JUNICHI
分类号 H01L23/00 主分类号 H01L23/00
代理机构 代理人
主权项
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