发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR DRY ETCHING
摘要
申请公布号 JPH05136090(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910293102 申请日期 1991.11.08
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KANAMORI JUN
分类号 C23F4/00;G01N24/14;G01R33/64;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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