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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR DRY ETCHING
摘要
申请公布号
JPH05136090(A)
申请公布日期
1993.06.01
申请号
JP19910293102
申请日期
1991.11.08
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KANAMORI JUN
分类号
C23F4/00;G01N24/14;G01R33/64;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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