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发明名称 WORK CARRIER DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05138486(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910307579 申请日期 1991.11.22
申请人 TOHO KASEI KK 发明人 UEKI TERU;MOTO YUTAKA;TAKEMURA SADAO
分类号 B23Q7/00;B65G43/00;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B23Q7/00
代理机构 代理人
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