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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0541143(U)	申请公布日期	1993.06.01
申请号	JP19910091716U	申请日期	1991.11.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
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