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发明名称 HORIZONTAL HEAT TREATMENT FURNACE
摘要
申请公布号 JPH05136070(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910295588 申请日期 1991.11.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KONDO YOSHINORI;MAEDA KENICHI
分类号 H01L21/31;H01L21/22 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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