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发明名称 EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号 JPH05136025(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910294613 申请日期 1991.11.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAWAMURA EIICHI;KOJIMA YOSHINORI
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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