发明名称 ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05135727(A) 申请公布日期 1993.06.01
申请号 JP19910298776 申请日期 1991.11.14
申请人 JEOL LTD 发明人 ARAI YOSHIHIRO
分类号 H01J37/26;H01J37/295 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人
主权项
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