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发明名称
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摘要
申请公布号
JPH05138569(A)
申请公布日期
1993.06.01
申请号
JP19910326544
申请日期
1991.11.13
申请人
AKASHI HIROSHI
发明人
AKASHI HIROSHI
分类号
B25J15/06;B65G49/07;B65H3/14;B65H5/14;H01L21/677;H01L21/68
主分类号
B25J15/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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