| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET LANGS LITHOGRAFISCHE WEG VERVAARDIGEN VAN INRICHTINGEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL189631(C) |
申请公布日期 |
1993.06.01 |
| 申请号 |
NL19840001430 |
申请日期 |
1984.05.04 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY TE NEW YORK, NEW YORK, VER. ST. V. AM. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/027;G01N21/31;G01N21/64;G03F7/30;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/311;G03F7/00 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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