PROCESS AND DEVICE FOR INSPECTING THE CONTENT OF IMAGES

摘要

L'invention concerne un procédé et un dispositif pour contrôler le contenu d'images et notamment de caches lors de la fabrication de circuits intégrés. Lors de la comparaison entre une image réelle et une image idéale, les deux images sont divisées en éléments d'images disposés en colonnes et en lignes, et analysées selon les coordonnées x et y. On obtient ainsi une image marginale x et une image marginale y, qui sont analysées dans le sens y et le sens x respectivement pour former des images marginales x/y et y/x. Par soustraction des images marginales y/x et x/y de l'image réelle et respectivement de l'image idéale, on obtient une image différentielle réelle et une image différentielle idéale. En comparant l'image différentielle réelle avec l'image différentielle idéale, on obtient une image comparative réelle. Pour finir, l'image différentielle idéale seule est analysée et on obtient une image défectueuse qui permet de se prononcer sur l'utilisation ultérieure de l'image réelle.