WAFERTRANSFERAPPARAT.,申请号DE19833382676-传众专利搜索

发明名称	WAFERTRANSFERAPPARAT.
摘要
申请公布号	DE3382676(D1)	申请公布日期	1993.05.27
申请号	DE19833382676	申请日期	1983.05.18
申请人	PROCONICS INTERNATIONAL INC., WOBURN, MASS., US	发明人	FOULKE, RICHARD F., CARLISLE, MA 01741, US;LORD, STEVEN M., HILTON HEAD ISLAND, SC 29228, US
分类号	B25J15/06;B25J19/04;B65G47/91;B65G61/00;H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):B65G17/32;B66C1/02;B65H1/06;F16H19/06	主分类号	B25J15/06
代理机构		代理人
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