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发明名称 CVD-VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG AUSGEDEHNTER SUBSTRATE
摘要
申请公布号 DE4138541(A1) 申请公布日期 1993.05.27
申请号 DE19914138541 申请日期 1991.11.23
申请人 PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH, 2000 HAMBURG, DE 发明人 LYDTIN, HANS-JUERGEN, DR., 5190 STOLBERG, DE;RITZ, ARND, DR., 5142 HUECKELHOVEN, DE
分类号 C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/513 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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