发明名称
摘要
申请公布号 JPH0535717(B2) 申请公布日期 1993.05.27
申请号 JP19870075354 申请日期 1987.03.27
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 ONABE KENTARO
分类号 C30B23/08;C30B29/40;C30B29/42;H01L21/205 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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