发明名称 ZWEIDIMENSIONALES PIEZOELEKTRISCHES ANTRIEBSYSTEM.
摘要
申请公布号 DE3783960(T2) 申请公布日期 1993.05.27
申请号 DE19873783960T 申请日期 1987.07.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 FUKADA, TETSUJI;WAKAMIYA, MASAYUKI, SUITA-SHI, JP;YAMASHITA, ICHIRO, TSUKUBA-GUN IBARAKI-KEN, JP
分类号 H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/08 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
主权项
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