申请人 |
HITACHI CHEMICAL CO., LTD.;HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP |
发明人 |
SEIJI, TAI;HAYASHIDA, SHIGERU;HAYASHI, NOBUYUKI;HAGIWARA, HIDEO;KATAYOSE, MITSUO;KAMIJIMA, KOICHI;AKIMOTO, TAKAYUKI;ERA, SUSUMU;KOBAYASHI, SETSUO, HITACHI-SHI, JP;MUKOH, AKIO, MITO-SHI, JP |