| 摘要 |
[과제] 구조가 간소하고 또한, 적용되는 장치나 플랜트에 상관없이 높은 정밀도로 액체로부터 기체를 탈기할 수 있는 탈기 장치 및 탈기 방법을 제공한다. [해결수단] 탈기되는 액체가 내부에 모이는 챔버(10)와, 챔버(10)의 상부로부터 챔버(10)에 액체를 주입하는 주입부(20)와, 챔버(10) 안에 모여져 있는 액체를 챔버(10)의 하측으로부터 배출시키는 배출 수단(30)을 구비하고, 챔버(10)의 내부를 밀폐한 상태에서, 챔버(10) 안에 주입하는 액체의 유량보다도 많은 유량의 액체를 챔버(10) 안으로부터 배출함으로써 챔버(10) 안을 감압하는 탈기 장치 및 이 탈기 장치를 사용한 탈기 방법으로 상기 과제를 해결한다. |
