SILICON CHIP FOR USE IN A FORCE-DETECTION SENSOR

摘要

Il est proposé une puce de silicium utilisable dans un capteur de force. La puce comporte des circuits (22), des éléments piézorésistifs (21), un élément intermédiaire (36) et une zone d'application de force (23). La puce de silicium (20) est logée sur un support (38). Les éléments piézorésistifs (21) sont disposés dans une zone soumise à de hautes tensions mécaniques, et les circuits (22) dans une zone où les tensions mécaniques sont faibles. Des canaux (122), par exemple, permettent d'influer sur la répartition de la tension dans la puce de silicium (20).