发明名称 INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 EP0420852(B1) 申请公布日期 1993.05.26
申请号 EP19890904049 申请日期 1989.03.17
申请人 DR. WERNER TABARELLI;LOEBACH, ERNST 发明人 DR. WERNER TABARELLI;LOEBACH, ERNST
分类号 G01B9/02;G01D5/26 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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