| 发明名称 |
RADIATION-SENSITIVE POSITIVE RESIST AND COMPOSITION CONTAINING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0239385(B1) |
申请公布日期 |
1993.05.26 |
| 申请号 |
EP19870302576 |
申请日期 |
1987.03.25 |
| 申请人 |
TORAY INDUSTRIES, INC. |
发明人 |
KATAOKA, MUTSUO;TOKUNAGA, AGUTO |
| 分类号 |
G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/039 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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