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发明名称
SENSOR FOR MEASURING THE CURRENT OR THE VOLTAGE OF ELECTRIC CONDUCTIVE LAYERS ON A REFERENCE CHIP
摘要
申请公布号
EP0284909(B1)
申请公布日期
1993.05.26
申请号
EP19880104290
申请日期
1988.03.17
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
SCHOBER, KONRAD, DIPL.-PHYS.
分类号
H01C17/06;C23C14/54;G01R19/00
主分类号
H01C17/06
代理机构
代理人
主权项
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