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发明名称 FIELD-EFFECT TRANSISTOR WITH SELF-ALIGNED GATE AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 EP0184047(B1) 申请公布日期 1993.05.26
申请号 EP19850114474 申请日期 1985.11.14
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 FURUKAWA, MOTOKI C/O PATENT DIVISION;KISHITA, YOSHIHIRO C/O PATENT DIVISION;MITANI, TATSURO C/O PATENT DIVISION
分类号 H01L21/338;H01L29/47;H01L29/812;H01L29/872 主分类号 H01L21/338
代理机构 代理人
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